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因此,洁净室下游相关行业企业越来越注重洁净室的节能问题。这就恳求洁净室工程行业企业,从客户需求动身,从设计理念、建造施工、设备配备及运转等各个方面中止节能设计,只需采取多方位的节能技术,整个洁净室行业才干持续、良性展开。更有甚者用于某一工序的各种工艺材料(化学品、特种气体等)在很多情况下其微量的分子剩余对下一工序常常可能就是污染物。因此,IC消费过程中的某些加工工序及工序问的材料传送和存放环境中,AMC已成为严重影响废品率的重要问题,AMC分子控制技术成为洁净室设计与施工树立的主流趋向。目前,国内的洁净室工程行业企业中曾经开端从事此方向的研讨。











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回风管道设计调试不好

   设计的原因是因空间所限,没有采用“顶送侧回”,或者是设计的回风口数量不够。另外就是回风口的调试,调试不好,回风口阻力过大,回风量会少于送风量,也容易造成洁净度不合格。另外,回风口离地面的高度,也会对洁净度有重大影响。





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